精細化工是當今化學工業的新型領域，涉及領域廣泛，精細化工產品包括了大致11個品類：農藥、染料、涂料、顏料、試劑盒高純物，信息用化學品、食品和飼料添加劑、粘合劑、催化劑和各種助劑、化工系統生產的化學藥品（原料藥）和日用化學品、高分子聚合物中（包括功能膜和偏光材料等），隨著經濟發展，行業的開發和涉及領域也會不斷開拓，超純水是精細化工行業必不可少的生產用水之一。
超純水系統的一般工藝流程：
1、離子交換工藝方式
原水->原水增壓泵->預處理系統->精密過濾器->陽樹脂過濾床->陰樹脂過濾床->陰陽樹脂混床->微孔過濾器->用水點
2、反滲透工藝方式
原水->原水增壓泵->預處理系統->精密過濾器->反滲透系統->純化水箱->純水泵->微孔過濾器->用水點
3、EDI方式：
原水->原水增壓泵->預處理系統->精密過濾器->雙級反滲透系統->中間水泵->EDI系統->拋光混床->微孔過濾器->用水點
